ASML交付首台高NA EUV機台予Intel 單價破3.5億美元

ASML正式將首台0.55NA高解析度EUV微影機交付給Intel，用於2奈米以下制程研發。該機台採用多光束干涉技術，解析度達8nm，單台價格高達3.5億美元。業界預測，Intel將於2026年推出基於該技術的Meteor Lake處理器，效能較現行Arrow Lake提升40% 。