ASML新一代EUV機台試產 2nm以下製程關鍵科技新訊2025年5月19日news ASML今宣布EUV光刻機NXE:3800G進入試產階段，可支援2nm以下制程。此機台採用高NA（數值孔徑）技術，光刻精度提升30%。台積電已下單30台，預計2026年交付。但供應鏈透露，每台價格高達4.5億美元，且交貨期延長至24個月，恐加劇晶圓廠擴產成本。
