ASML擴大EUV產能科技新訊2025年5月15日未分类 ASML宣布荷蘭EUV光刻機產能將從每月80台提升至120台，主要供應台積電、三星3奈米以下製程需求。公司同時推出「High-NA EUV」升級方案，可支援1.4奈米製程。業界預測，2025年EUV機台出貨量將突破150台，帶動整體營收增長22% 。
