ASML擴大EUV機台產能!2025年供貨量增加40%科技新訊2025年5月11日news 艾司摩爾(ASML)宣布荷蘭維爾森工廠擴建完成,極紫外光(EUV)光刻機年產能從80台提升至112台。其中,NXE:3800E機型佔比達60%,支援3奈米以下制程。公司CEO Peter Wennink表示,中國晶圓廠訂單佔比已突破35%,但美國施壓下可能啟動出口審查。值得注意的是,ASML將於第三季推出「NXE:3800G」升級版,光刻精度提升至1.5奈米,預計供貨給台積電與三星。業界估算,2025年全球EUV機台總出貨量將達400台,創歷史新高。