參考來源:東京威力科創 官方網站 / 年報
東京威力科創(Tokyo Electron Limited)是全球第二大半導體設備供應商(僅次於應用材料)。
其在塗佈/顯影設備(Coater/Developer)領域擁有全球超過90%的市佔率,幾乎所有晶圓廠都必須採用其設備進行光刻製程前的準備。此外,TEL在乾式蝕刻(Dielectric Etch)、沉積(CVD/ALD)及晶圓探測(Prober)領域也名列前茅。
隨著High-NA EUV時代來臨,TEL正積極開發對應的光阻塗佈與顯影配套方案。
官方網站:https://www.tel.com