參考來源:Intel 2024 VLSI 研討會論文 / TSMC 技術研討會
背面供電網絡(Backside Power Delivery Network)是將原本位於晶片正面的電源走線移到晶片背面。
傳統痛點:在2nm以下,晶片正面「佈線擁塞」嚴重,電源線與信號線互相干擾,導致電源壓降(IR Drop)增加,限制時脈提升。
解決方案:透過將晶圓薄化並利用奈米矽通孔(nTSV)從背面供電,可釋放正面佈線空間。Intel的PowerVia技術已在測試晶片中驗證,能將單元利用率提升6%,並減少30%的電源壓降。台積電與三星也計劃在1.6nm及1.4nm節點導入此技術。