技術領域:台積電A16(1.6nm)製程與超級電軌(SPR)技術
台積電(2330-TW)A16製程將於2026年下半年如期量產,這是台積電首個導入埃米(angstrom)級節點的製程技術[reference:0]。A16的最大亮點是採用了台積電稱之為「最佳級別的超級電源軌(best-in-class super power rail, SPR)」技術[reference:1]。
超級電軌(SPR)是什麼?
SPR是一種背面供電網絡(BSPDN)的具體實現方案。傳統晶片設計中,電源線與訊號線共用晶片正面空間,隨著電晶體密度提升,電源壓降(IR Drop)與訊號干擾問題日益嚴重。SPR將電源網絡移至晶片背面,透過奈米矽通孔(nTSV)從背面供電,可有效釋放正面佈線空間。
A16的技術定位
台積電董事長魏哲家表示,A16適用於具有複雜訊號布線及密集供電網路的高效能運算(HPC)產品[reference:2]。A16可在同效能下達到15%至20%的省電效果[reference:3]。隨著N2(2奈米)、N2P、A16及其衍生技術陸續到位,2奈米家族將成為台積電另一個大規模且有長期需求的製程技術[reference:4]。
產業意義
A16的量產標誌著半導體產業正式從奈米世代跨入埃米世代。法人預期,A16將主要服務AI加速器、資料中心CPU等對電源密度與訊號完整性要求極高的HPC客戶[reference:5]。台積電的節點演進路線已從N3過渡到N2,繼而發展至具備SPR的A16,最終邁向更先進的A14節點[reference:6]。