一座先進晶圓廠的設備投資超過200億美元，但支撐這些設備運轉的廠務系統同樣關鍵。廠務系統（Facility System）是晶圓廠的幕後功臣，確保生產環境穩定可靠。
四大廠務系統
1. 水系統
超純水（UPW）是晶圓製造的核心耗材，用於清洗晶圓、冷卻設備。超純水電阻率需達18.2MΩ·cm，比蒸餾水純淨1000倍。一座12吋晶圓廠每日需消耗數千噸超純水。
2. 氣系統
包括大宗氣體（氮氣、氧氣、氬氣）與特殊氣體（矽甲烷、三氟化氮等）。特殊氣體需透過氣櫃（Gas Cabinet）供應，並配備洩漏偵測與緊急遮斷系統。
3. 電力系統
晶圓廠對電力品質要求極高，需配備不斷電系統（UPS）與備用發電機。電壓波動超過5%可能導致整批晶圓報廢。
4. 化學品系統
包括光阻、顯影液、蝕刻液等製程化學品，需透過化學品供應系統（CDS）精確配送至各製程設備。
台灣廠務工程廠商
帆宣（6196-TW）、漢唐（2404-TW）、亞翔（6139-TW）、聖暉（5536-TW）等是台灣主要的廠務工程廠商，承接台積電、聯電等晶圓廠的廠務系統建置與維護工程。