珂玛科技 (301611.SZ) – 先進陶瓷材料領軍者,靜電卡盤與碳化硅套件實現突破

公司名稱:蘇州珂瑪材料科技股份有限公司

股票代號:301611.SZ

成立時間:2009年

產業類別:先進陶瓷材料與零部件

公司簡介:珂瑪科技專注於先進陶瓷材料及零部件,已構建由氧化鋁、氧化鋯、氮化鋁、碳化硅、氧化釔和氧化鈦六大類材料組成的先進陶瓷基礎材料體系[citation:6]。產品主要用於半導體製造前道工序,覆蓋刻蝕、薄膜沉積、離子注入、光刻和氧化擴散等核心環節[citation:6]。

核心產品:量產的陶瓷加熱器主要供應國內半導體晶圓廠及主流設備廠,可裝配於SACVD、PECVD、LPCVD、ALD、PVD和激光退火設備。同時,靜電卡盤及超高純碳化硅套件也已實現小批量出貨與客戶交付[citation:6]。2025年下半年,公司收購凱欣半導體,進一步完善碳化硅陶瓷材料領域的產品布局。

官方網站:http://www.kematec.com.cn