一座先進晶圓廠的設備投資超過200億美元，設備折舊是晶圓代工廠的主要成本項目。設備維修與再生技術可延長設備壽命、降低資本支出，成為晶圓廠提升成本競爭力的關鍵。
設備再生技術
半導體設備使用一段時間後，腔體內部會累積反應副產物，影響製程穩定性與良率。設備再生製程包括：
- 腔體清洗：去除沉積物與污染物
- 零件翻新：更換耗損部件、重新塗佈抗蝕層
- 性能驗證：確保再生後設備性能達到新機規格
台灣廠商布局
台灣有多家設備再生服務廠商，包括：
- 辛耘（3583-TW）：提供半導體設備再生與翻新服務
- 帆宣（6196-TW）：設備代理與再生服務
- 崇越（5434-TW）：半導體材料與設備服務
- 京鼎（3413-TW）：設備零組件製造與再生
隨著先進製程設備成本持續攀升，設備再生市場規模持續擴大，成為半導體產業循環經濟的重要一環。