數據來源：SEMI、中國電子專用設備工業協會
根據中國電子專用設備工業協會（CEPEA）發布的數據，2025年中國半導體設備市場國產化率達到25.3%，較2024年的19.8%提升5.5個百分點，創歷史新高。
主要設備領域國產化率（2025年）
| 設備類別 | 國產化率 | 主要廠商 |
|---|---|---|
| 刻蝕設備 | 35% | 中微公司、北方華創 |
| 清洗設備 | 42% | 盛美上海、至純科技 |
| 薄膜沉積設備 | 22% | 北方華創、拓荊科技 |
| CMP設備 | 28% | 華海清科 |
| 離子注入設備 | 12% | 中科信、凱世通 |
| 量測設備 | 8% | 精測電子、中科飛測 |
SEMI報告指出，中國本土設備廠商在先進製程領域持續突破，中微公司刻蝕設備已進入台積電5奈米生產線，北方華創薄膜沉積設備通過中芯國際14奈米驗證。預計2026年國產化率有望突破30%。